当前位置:半导体行业 >> 材料测试 >> 杂质浓度
                 主掺杂质、固态外扩散杂质、气相自掺杂质、系统自掺杂质和金属杂质等五类杂质源是外延层中的常见杂质。主掺杂质决定外延层的电阻率。固态外扩散、气相自掺杂和系统自掺杂影响衬底界面附近的外延层杂质浓度的深度分布。金属杂质在外延层中对器件有害。杂质浓度检测对外延层的整体品质控制其着不可忽视的作用。           
版权所有:2008-2012 合能阳光 京ICP备10046290号 京公网安备11011 2000459号