当前位置:半导体行业 >> 研磨抛光片 >> 氧/碳含量
                    氧含量是指规中间隙氧元素的含量,单位个/立方厘米,半导体材料的氧含量过多,将减少少数载流子的复合寿命。 碳含量是指半导体材料中的代位碳元素的原子含量,单位个/立方厘米。           
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