■ 问:怎样的硅料分选结果才是符合标准的硅料分选结果?
答:主要从外观、型号、电阻率(重掺)、杂质、包装这几个方面去看:
> 外观:颜色均匀(色泽无大反差),无颜色片、氧化片、白雾片、金属线片、图形片(包括印刷图形、光刻图形)、无粘结片、无杂质沾污。外观不合格量不能大于总重的 0.1 ‰。
> 导电类型:标明要与硅片型号一致,偏差量不能大于总重的 5% 。
> 电阻率
> 基本要求: P 型大于 0.5 Ω .cm 或 1.0 Ω .cm; N 型平均大于 3 Ω .cm 。
> 标明电阻的上下限偏差分别不能大于上下限的 25% 。不合格量不能大于总重的 0.1% 。
> N 型重掺片电阻率在( 9 ~ 0.9 )× 10 -1 Ω .cm 的总重量应小于 0.1 ‰ .
> 原料总中含有 N 型重掺片电阻率等于或小于 9 × 10 -2 Ω .cm 应视为废品 .
> P 型重掺片电阻率在( 1 ~ 0.8 )× 10 -1 Ω .cm 的总重量应小于 3 ‰
> P 型重掺片电阻率在( 8 ~ 0.9 )× 10 -2 Ω .cm 的总重量应小于 0.5 ‰
> 原料中含有 P 型重掺片电阻率数量级等于或小于 9 × 10 -3 Ω .cm 应视为废品 .
> 企业可以根据自身产品需要进行调整。
> 杂质:不能有炭粒、胶条等可见杂质。如有则视为废品。
> 包装:包装袋两层,无漏洞。标明质量偏差小于± 5g 。
■ 问: 选料作业主要步骤有哪些?
答:主要步骤包括:
> 选料准备,分选人员在分选工作前穿好工作服,佩带工作牌,戴上一次性绝缘手套,并在一次性绝缘手套外戴上尼龙手套。
> 准备好硅料检验仪器 HS-3FCII 硅料分选全能王
> 按规定摆放塑料盒,盒子上标有电阻率的范围。
> 班组长领取所需的物料。
> 生产线上不准放置任何与生产无关的物品。
> 分类, 将硅料中的石英、石墨、氧化硅料、多晶挑选出来,分别放入指定的盒子中。带有石英、石墨的硅料用榔头将石英、石墨敲掉。
> 打磨 , 将分选好的硅料进行打磨,尽量选在光滑面(保持长 1 ㎝,宽 3 ㎝左右)。打磨时应选在硅料的中间部位,以便准确测其电阻率。
> 测型号,用 全能王 HS-3FCII 三探针测 型号,分为 N 型、 P 型、混合型三种。有些厂家也将混合型归入 N 型中,把 P 、 N 型分别放入不同的塑料盒中。测型号时,对于大料要多测几个点,以确保型号的准确。
> 测电阻率,用 硅料分选全能王 HS-3FCII 四探针 测量电阻率,镊子测重掺。测时四探针同时着面,全部压入。电阻率大于等于 0.5 Ω·㎝为合格品,电阻率小于 0.5 Ω·㎝为不合格品,即为重掺, P 型电阻率分为 0.1-0.2 , 0.2-0.5 , 0.5-2.7 , 2.7-6 , 6-13 ,≥ 13 共 6 种, N 型电阻率分为 0.1-0.2 , 0.2-0.5 , 0.5-1 , 1-5 ,≥ 5 共 5 种。(不同厂家可根据拉制产品要求进行分挡)
> 抽检,经过分选硅料要进行抽检,抽检率为 20 %。被抽检的袋中若发现有一块重掺,即属于不合格品,则袋中剩下的部分要进行返工,再检测,直至合格。
> 称重、装袋,在袋上注明种类、极性、电阻率范围、重量(每袋重量保持一致)。标识要清晰。
■ 问: 如何操作才能达到符合标准的硅料分选检验结果?
答:检验方法
项目 |
检验方法 |
外观 |
目测外观,将不合格品拣出。在用天平称重计算不合格产品。 |
导电类型 |
用硅料分选全能王 HS-3FCII 三探针测型号,再用天平沉重计算不合格量。 |
电阻率 |
用硅料分选全能王 HS-3FCII 四探针测电阻,镊子测重掺,再用天平称重计算不合格量。 |
杂质 |
目测。 |
包装 |
目测有无漏洞,再用天平称重。 |
■ 问: 硅料检验及抽检的有哪些规则和原则可以遵循?
答: 主要在检测类别和检验规则两方面着手:
> 检验类别
检验类别 |
项目名称 |
全数检验 |
外观、包装。 |
抽检 |
导电类型、电阻率、杂质。 |
> 抽检规则
项目 |
规则 |
抽检周期 |
少于 300 公斤 每批料抽检一次;大于 300 公斤 每 300 公斤 抽检一次。 |
抽检方法 |
随机从交验品中抽取,每次抽取 3 袋。 |
结果判定原则 |
要求合格率达到 100% 后方可办理产成品入库手续。 |