产品介绍:

合能阳光硅芯电阻率测试仪(HS-SFRT)，是一款高端测量圆柱晶体硅电阻率测试仪器，可测量硅芯，检磷棒，检硼棒，籽晶等，由于仪器大大消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响，因此测试精度大大提高，量程实现了电阻率从10^-4欧姆 . 厘米到10⁺⁴欧姆.厘米（可扩展）的测试范围。因此仪器具有测量精度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点。是 西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业 、 物理提纯生产多晶硅料生产企业、光伏及 半导体材料厂、器件厂、科研部门、高等院校以及需要超大量程测试电阻率测试的企业的最佳帮手。



硅芯电阻率测试仪-产品特点

■ 适合检测硅芯，检磷棒，检硼棒，籽晶等圆柱晶体硅
■ 适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业
■ 适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■ 适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业
■ 适用于科研部门、高等院校及需要超大量程测量电阻率的企业
■ 仪器消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响，因此测试精度大大提高
■ 测量精度高，除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能
■ 独特的设计能有效消除测量引线和接触电阻产生的误差，   实现了测量的高精度和极宽的量程范围
■ 双数字表结构使测量更精确，操作更简便
■ 具有强大的测试数据查询及打印功能
■ 测量系统可实现自动换向测量、求平均值、最大值、最小值、平均百分变化率等
■ 四探针头采用进口红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性大大提高
■ 采用进口元器件，留有更大的安全系数，大大提高了测试仪的可靠性和使用寿命
■ 测量电流采用高度稳定的特制恒流源（万分之五精度），不受气候条件的影响
■ 具有正测反测的功能，保证测试结果的准确性
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能


硅芯电阻率测试仪-推荐工作条件

■ 温度：23±2℃
■ 湿度：≤65%
■ 无较强的电场干扰，电源隔离滤波，无强光直接照射


硅芯电阻率测试仪-技术指标

■ 可测电阻率范围： 5 × 10^-5 — 5 × 1 0⁺⁵ Ω· cm （可扩展）
■ 测量精度＜3%
■ AC 220V ± 10% 50/60 Hz 功率： 12W



硅芯电阻率测试仪-典型用户

北京，浙江，四川，河北，河南等地的硅料生产企业及半导体光伏拉晶客户