工艺介绍 (光盘资料)
CZ直拉硅单晶是一项系统工程,不仅需要对拉晶本身的设备卫检、冷检、熔料、稳定、引晶、放肩、等径、收尾、冷却过程工艺要全面把握,而且也离不开对硅料的分选,清洗、配料、掺杂、热场、坩埚、机械设备、控制系统等因素的综合把握,任何一个环节和能力的缺失,都无法保证产品的质量和产量。
本直拉硅单晶完整制备工艺光盘资料将系统地对上述各个方面进行从原理到实际操作进行全面的深入浅出的分析阐述,是一份不可多得的硅单晶制备工艺资料。
同时本公司可针对用户实际生产中存在的问题及新上项目,提供技术咨询及整体解决方案服务。
包含工艺
■ 从概念理论到实际操作、从发现问题到解决方案工艺过程、从数据公式到表格配方等多方面进行阐述分析直拉单晶工艺;
■ 各种硅料的清洗;
■ 各种硅料的初选及复选;
■ 拉晶过程的全面阐述;
■ 单晶硅的电阻率和掺杂计算;
■ 拉晶过程中的异常情况及其处理;
■ 硅料的检测分选;
■ 重掺、型号、电阻率检测;
■ 氧碳检测;
■ 少子寿命检测;
■ 硅片硅棒其他检测;
■ 高纯水制备、高纯氩气纯化;
■ 石墨热场、石英坩埚、籽晶;
■ 切断、滚磨和打磨定位面;
■ 直拉单晶常用数据、公式、表格;
■ 其他......
推荐光盘运行环境
■ CPU:P3同类档次或更高档次以上。
■ 内存: 256M以上内存。
■ 硬盘空间: 10G以上均可。
■ 显示器: VGA或更高分辨率,建议分辨率为 1024x768像素。
■ 操作系统: Microsoft Windows 2000/XP/Vistas