软件介绍

硅中氧碳含量测试软件是一个用于半导体及太阳能硅料及硅片氧碳含量测试的软件，该软件可以功能强大，不仅可以对硅中氧、碳含量测量分析，还可以对电池片及IC制程中的表面膜厚分析，此外还可以进行BPS、PSG、FSG、SiN/SiON分析等，是广大半导体及太阳能光伏用户的氧碳测试的最佳帮手。



软件功能特点

■ 适用于直拉硅单晶棒及硅片公司、区熔硅单晶棒及硅片公司、太阳能电池片公司及 IC 半导体公司
■ 同时可以扩展到多晶硅料，但需要通过切割或机械打磨成片
■ 测试范围广，功能强大
■ 提供磷硼砷锑等多种母合金的掺杂功能；
■ 不仅可以做到硅料硅棒硅片氧、碳含量自动、快速、准确的测量，还可以进行电池片及半导体膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，FSG分析，SiN/SiON分析
■ 强大的谱图数据库
■ 全球通用的权威标准
■ 与 Windows 完全兼容。



推荐软件运行环境

■ CPU：P4同类档次或更高档次以上。
■ 内存： 256M以上内存。
■ 硬盘空间： 40G以上均可。
■ 显示器： VGA或更高分辨率，建议分辨率为 1024x768像素。
■ 操作系统: Microsoft Windows 2000/XP/Vistas