产品介绍:
全自动在线式蓝宝石及碳化硅晶片平坦度及表面形态测试仪为精密部件的制造商提供了业界领先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。它能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行全面测量。

产品特点：
■ 全自动在线全面检测
■无接触和无损伤测量
■ 适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■ 适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
■ 适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面
■ 测量多种不同指标：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■ 完整的分析系统：
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■ 超过15年的工业应用，全球几百台的装机量

技术参数：
■ 精确度：50nm （2.0μ″）
■ 重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■ 分辨率：5nm （0.2μ″）
■ 可测量工件尺寸：25mm-200mm
■ 动态测量范围：>100um
■ 测量数据点：230,000 / measurement
■ 测量时间：5秒
■ 电源：～220V  50Hz   

典型客户:
国外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，Freiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
国内：赛维，重庆四联，中电46所，山东大学，大连理工大学，中国科学院半导体所，中国科学院物理所，中科晶电，中科镓英，云南蓝晶，青岛嘉星晶电，天科合达，大庆佳昌……