无接触式电阻率型号测试仪TRM-100是基于涡流(Eddy Current)测试技术,能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。
产品特点:
■ 测试范围广,低阻可测至0.001ohm.cm,甚至0.0007hm.c,高阻可测至100ohm.c
■ 产品体积小,便于移动和携带
■ 采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
■ 无接触、无损伤快速测试
■ 测试前无需表面处理
■ 特别对于多晶,能够有效避免晶界对测试的影响
■ 测试范围:0.001-100 ohm.cm (分段测试)
■ 可选加无接触PN型号测试功能
■ 可进行温度和厚度的修正
技术指标:
■ 硅棒硅块可测量电阻率范围:0.001-100Ohm.cm.
■ 最小测试厚度:200μm
■ 测量时间:2秒/次
■ 最小测试面积:30x30 mm2
■ 推荐使用温度:20℃
■ 湿度:≤80%
■ 气压:86-106kPa
■ 使用电压:230±10V
■ 频率,50±3Hz
■ 功率消耗:≤5W
■ 尺寸(LxWxH):280x200x60mm
典型客户:
美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。