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解决方案 >> 蓝宝石和碳化硅品质提升解决方案
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晶体表面油污检测及处理方案
晶片表面有油污，很难以检测到，即便用KLA也难以判断，这主要是有检测原理决定的。有污染的晶片若被应用的外延，就会严重影响到LED的品质，使成品率下降。所以，如果要排除污染，就必须有一个专业的设备进行探测与判断。
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平整度检测方案
平整度是晶片很重要的参数，直接决定了片子合格与否，检测平整度的方法很多，但目前看来国际还是依托于SEMI标准。参数的定义，检测的精度都是需要认真考虑的。
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蓝宝石与碳化硅腐蚀方案
腐蚀工艺直接决定了检测位错的结果，关键的一点可能会让您少走很多的弯路，敬请关注。
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蓝宝石光学等级评估
光学晶体等级一般分六级，如何进行评估，怎么评估？这不光需要专业的检测设备，还有就是一线检测经验。
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碳化硅工艺流程及检测方案
碳化硅工艺流程及检测方案
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蓝宝石整体检测方案
工艺流程及涉及的检测设备
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