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硅料与硅片品质提升解决方案 >> 硅片碎片率高解决方案
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硅片碎片率高解决方案
碎片原因很多种，除了人为因素，本身平整度，C含量超标等都会引起碎片。降低成本，减少碎片，来看如何解决？
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