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耗材辅料品质提升解决方案 >> 蓝宝石和碳化硅籽晶选择方案
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蓝宝石籽晶选择方案
蓝宝石晶体的内在质量、晶体缺陷、杂质浓度等直接关系到外延层和器件的质量及成品率。因此准确地显示出晶体缺陷、研究其形成机理和控制及消除技术对制备高质量晶体是非常重要的。
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