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蓝宝石和碳化硅品质提升解决方案 >> 平整度精确检测解决方案
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平整度检测方案
平整度是晶片很重要的参数，直接决定了片子合格与否，检测平整度的方法很多，但目前看来国际还是依托于SEMI标准。参数的定义，检测的精度都是需要认真考虑的。
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