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硅料与硅片品质提升解决方案 >> 氧碳含量超标解决方案
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氧碳含量超标解决方案
氧含量影响电阻率及少子寿命，碳含量影响到硅片的脆性。那标准是什么，如何解决超标问题，让我们来一起关注......
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