晶片表面有油污,很难以检测到,即便用KLA也难以判断,这主要是有检测原理决定的。有污染的晶片若被应用的外延,就会严重影响到LED的品质,使成品率下降。所以,如果要排除污染,就必须有一个专业的设备进行探测与判断。
合能阳光提供SQM-500W表面质量检测系统用于对样品表面清洁质量进行检测与分析。
SQM系列产品的重大突破是首次提供表面清洁度的定量分析。可以对各种表面上的污染进行非接触无损伤的快速准确的测量。结果能够为优化表面清洁工艺提供真实可靠的分析,为产品品质提供有力可信的保证,是公司利润和信誉提供必不可少的保障。