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硅单晶电阻率标准片(以下简称标准样片)是用高纯多晶硅,经过单晶设备,再经中子嬗变掺杂等多种工艺制造的,具有一定几何尺寸的实物标准.由不确定度已知的标准装置,对该实物标准的电阻率及其他指标给予标定,使用时以标准样片为准,对相关参数进行量值传递. 标准样片的各项指标要求： 标准样片的表面质量及几何尺寸：
硅单晶电阻率标准片(以下简称标准样片)是用高纯多晶硅,经过单晶设备,再经中子嬗变掺杂等多种工艺制造的,具有一定几何尺寸的实物标准.由不确定度已知的标准装置,对该实物标准的电阻率及其他指标给予标定,使用时以标准样片为准,对相关参数进行量值传递.
标准样片的各项指标要求：
标准样片的表面质量及几何尺寸：
