检测仪器 >> LED蓝宝石碳化硅质量检测仪器 >> 平整度测试系统:OWT-200
                

 

 

产品简介:

    OWT-200平整度测试系统,采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征,在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等,可在线和离线测量。

 

产品特点:
 厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量;
 无接触测量;
 无需校准;
 高精度、高重复性;
 样品台可选:4寸、6寸、8寸;
 强大的分析软件,可显示3D表面形貌;
 同时进行各种参数的测量,具备超高的测试速度;

 

技术参数:
 TTV
     精确度:±0.1um
     重复性精度:0.01um

 厚度
     精确度:±0.2um
     重复性精度:0.1um
     测试范围:50-2000um

 翘曲度/弯曲度
     精确度:0.5um
     重复性精度:0.2um
     测试范围:200um

 整机参数
     测量时间:<100秒
     最大测量尺寸:8寸
     尺寸:550*602*291mm
     整机功率:800W

 

典型客户:
蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等。

版权所有:2008-2012 合能阳光 京ICP备10046290号 京公网安备11011 2000459号