检测仪器 >> LED蓝宝石碳化硅质量检测仪器 >> OWT-100无接触厚度测试仪
                

产品简介
         OWT-100采用PHYS独有技术,对透明、半透明材料的厚度、TTV进行无接 触测量,其对
        透明、半透明材料的高精度精确测量的性价比在同类测试仪器中是无可比拟的。

 

 产品特征
        无接触无损伤测量
        高精确度及重复性
        测量材料范围广,透明、半透明、不透明几乎所有材料的厚度、TTV
        抗干扰强,稳定性好                                       
        强大的工控机控制和大屏幕显示
        一体化设计操作更方便,系统稳定
        为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
         超高测试速度


技术指标
        测试尺寸:50mm-200mm.
        厚度测试范围:1000 um,可扩展到1700 um  
        厚度测试精度:+/-0.1um
        厚度重复性精度:0.050um
        TTV 测试精度: +/-0.05um
        TTV重复性精度: 0.050um
        测量时间: <1秒
        材料:透明、半透明材料
        尺寸: 560X650X400mm
        电源:220V 50HZ  300W

 

 典型客户:       
    蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等

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