耗材配件 >> 工艺耗材 >> 方坩埚喷涂用氮化硅
                

 

氮化硅分子式为Si3N4,是一种重要的结构陶瓷材料。
它是一种超硬物质,本身具有润滑性,并且耐磨损;
除氢氟酸外,它不与其他无机酸反应,抗腐蚀能力强,高温时抗氧化。
而且它还能抵抗冷冲击,加热到1000℃以上,急剧冷却再急剧加热,也不会碎裂。
涂喷在坩埚表面,在加热作用下,使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面,形成粉状涂层,
涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离,使液态硅不与石英坩埚反应,而使石英坩埚破裂,及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。

 


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