耗材配件 >> 工艺耗材 >> 直拉单晶,多晶铸锭掺杂用高纯度母合金
                

母合金掺杂剂

掺杂,又称配料,掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质(如磷)或受主杂质(如硼)的杂质浓度,使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。本公司提供以下多种类型母合金:
■形状

块状

■片状

棒状

■掺杂类型

■型号

P

N

■电阻率

0.001-0.006 Ω.CM

■确保每段电阻率偏差在0.0010.0005范围内

浓度

硼含量(atom/cm3)=1.1732E201.6184E19

磷含量(atom/cm3)=7.3763E199.6552E18

碳含量(atom/cm3)<5E16

氧含量(atom/cm3)<1E18


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