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使用直流四探针法测量和分析硅晶片、扩散层、 金属层的电阻率和薄膜电阻。
适用晶片尺寸：2"～8"；
数字电压表量程：0—199.9mV 灵敏度：100μV 输入阻抗：1000ΜΩ 基本误差±(0.4-0.5%读数+0.1%满度)
电阻率范围：10—3 —1×103Ω·cm。
方块电阻范围：10—2 —1×104Ω/□。 