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               厚度是指研磨片或者抛光片的厚度。TTV是Total Thickness Variation的简称,翻译过来叫总厚度变化,即所所有测点的最大厚度与最小厚度的差值。抛光片表面总厚度变化是衡量抛光片表面质量的重要几何参数指标 ,对后序的器件工艺及集成电路工艺有着至关重要的影响。           
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