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   厚度与TTV(总厚度变化)的指标随着晶片尺寸不同而不同,详细请看下表:

 

 直径(mm)  50.8±0.2  100.0±0.2  150.0±0.2
 中心点厚度  0.430±0.015  0.650±0.02  1.300±0.02
 总厚度变化  ≤0.01  ≤0.02  ≤0.02

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