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金属材料中ppb级及其以上含量的杂质元素分析，可以检测5N、6N高纯铝、铜、锌、镍、钴以及多晶硅材料中的痕量和超痕量杂质元素。
金属材料中ppb级及其以上含量的杂质元素分析，可以检测5N、6N高纯铝、铜、锌、镍、钴以及多晶硅材料中的痕量和超痕量杂质元素。
