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无接触硅片测试仪:NCS-R80
产品简介
phys-R80 无接触硅片测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的专业仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
产品特点
■无接触无损伤测量
■电阻率和厚度同时测量
■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料
■电脑触摸屏显示
■抗干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
技术指标
■测试尺寸：50mm-300mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■ 厚度测试精度：+/-0.25um
■ 厚度重复性精度：0.050um
■ TTV 测试精度: +/-0.05um
■ TTV重复性精度: 0.050um
■弯曲度测试范围: +/-500um
■弯曲度测试精度: +/-2um
■弯曲度测试重复性精度:0.75um
■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■ 电阻率测试精度：+/- 2%
■ 电阻率测量重复精度：+/- 1%
■ 材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料
■ 可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等
