产品介绍
     PV-1000系列无接触硅片厚度TTV电阻率综合测试系统为太阳能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（总厚度变化）TTV、翘曲及无接触电阻率测量功能。并提供基于TCP/IP的数据传输接口及基于Windows的控制软件，用以进行在线及离线数据管理功能。
 

无接触硅片综合测试系统-产品特点
■ 使用MTI Instruments独有的推/拉电容探针技术

■ 每套系统提供最多三个测量通道

■ 可进行最大、最小、平均厚度测量和TTV测量

■ 可进行翘曲度测量（需要3探头）

■ 用激光传感器进行线锯方向和深度监视（可选）

■ 集成数据采集和电气控制系统

■ 可增加的直线厚度扫描数量

■ 与现有的硅片处理设备有数字I/O接口

■ 基于Windows的控制软件提供离线和在线的数据监控

■ 提供标准及客户定制的探头

■ 提供基于Windows的动态链接库用于与控制电脑集成

■ 用涡电流法测量硅片电阻率



无接触硅片综合测试系统-技术指标
■  晶圆硅片测试尺寸：50mm- 300mm.
■厚度测试范围：1.7mm，可扩展到2.5mm.
■ 厚度测试精度：+/-0.25um
■厚度重复性精度：0.050um
■测量点直径：8mm
■  TTV 测试精度:  +/-0.05um

■  TTV重复性精度: 0.050um
■  弯曲度测试范围： +/-500um [+/-850um]
■ 弯曲度测试精度： +/-2.0um
■ 弯曲度重复性精度： 0.750um
■ 电阻率测量范围：5-2000ohm/sq（0.1-40ohm-cm）

■ 电阻率测量精度：2%
■ 电阻率测量重复精度：1%
■ 晶圆硅片类型：单晶或多晶硅
■ 材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料
■ 可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等
■ 平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口
■ 硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带
■ 连续5点测量

应用范围
> 切片
>>线锯设置
　　　　>>>厚度
    　　>>>总厚度变化TTV
     >>监测
>>>导线槽
>>>刀片更换
>磨片/刻蚀和抛光
>> 过程监控
>> 厚度
>>总厚度变化TTV
>> 材料去除率
>> 弯曲度
>> 翘曲度
>> 平整度
>　研磨
>> 材料去除率
>　最终检测
>>　抽检或全检
>>  终检厚度